韩国公司开发首款EUV光刻胶通过三星可靠性测试：打破完全依赖海外供应商的局面

韩国光刻胶供应商东进世美肯(DongjinSemichem)表示，近日通过了三星电子的EUV光刻胶可靠性测试（合格）。这款光刻胶为双方合作研发，打破韩国EUV光刻胶完全依赖海外供应商的局面，最快有望明年上半年向产线批量供应。据ETNews报道，业内人